（1）无尘室的基本结构
无尘室的基本结构根据其无尘度的不同而不同。单向流动方式的高品位无尘室，由吊顶，室内，地板下坑这3个层次结构（【图1】）构成，其他形式多为不具有地板下坑结构的结构。
（a）室内
这是进行生产作业的场所。室内无尘度的控制方式为，从空气滤清器供应的清洁空气每小时置换几次室内容积的空气。因此，紧凑的室内空间其效率会较高。
（b）吊顶
在顶棚与屋顶或上楼层地板之间的空间，设置保持无尘室无尘度所需的器材（过滤器，管，空调机·应用设施等），并作为空气的循环路径（SA：供应的空气）来使用。
（c）地板
高品位的无尘室的地板，采用的是具有格栅地板的地板下结构，用于无尘空气的返回路径（RA：返回的空气）和生产设备用的辅助器材（压缩机等）与配管类及应用设施的设置。
非单向流动方式的无尘室的地板，不具有采用有不带电的地板材料的地板下结构。返回的空气被设置在墙面下部。
（2）无尘室内的布局
无尘室的基本结构，为执行·保持无尘化三原则所需的结构。
| ・ | 在无尘室使用的设备，采用的是分为作业区域和维护区域的结构。并在此基础上，将这两个结构用分隔物等分离开来，由此尽量减少维护作业所导致的室内作业区域的无尘度降低。最好采用这样的无尘室布局（参照【图1】，【图2】）。 |
下一讲，对局部无尘化技术进行说明。（3）在无尘室使用的设备和无尘室的布局
